XRF（X射线荧光光谱仪）与ICP - OES（电感耦合等离子体发生光谱仪）是常见的成分分析设备，以下为你从多方面对比分析这两种仪器：

基本原理

- XRF：初级X射线与样品表面原子核外电子相互作用，发生能级跃迁后发射出特征X射线。由于每个元素的特征X射线能量和波长固定且固定，通过探测器探查样品中元素特定的能量或者特定角度的荧光辐射，即可获得样品中的组成元素。

- ICP - OES：物质在高频电磁场所形成的高温等离子体中有良好的特征谱线发射，用半导体检测器检测这些谱线能量，然后参照同时测定的标准溶液，即可计算出试液中待测元素的含量。

仪器类型及特点

- XRF：分为能量色散型X射线荧光光谱仪（EDXRF或EDX）和波长色散型X射线荧光光谱仪（WDXRF）。其中，WDXRF用晶体分光后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号，元素检测范围广，从Be - U可进行全元素分析，比EDXRF分辨率高，检出限好，精度高，稳定性好，但价格较高；EDXRF则采用半导体探测器与多道分析器分辨特征X射线信号，检测范围较窄，从Na - U，其体积小，价格相对较低，检测速度较快。

- ICP - OES：其前身为ICP - AES（电感耦合等离子体原子发射谱仪），因发射光谱技术用到了越来越多的离子线，所以现在改叫OES。一般情况下，主要测试液体样品，测样时需要将样品溶解在特定的溶剂中（一般是水溶液），大部份元素的检出限为1～10ppb，一些元素也可得到亚ppb级的检出限。

优缺点对比

|类型|优点|缺点|

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|XRF|1. 分析速度快，一般2 - 5min内完成样品中元素的检测；
2. 非破坏性，在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象；
3. 同一试样可反复多次测量，结果重现性好；
4. 分析精密度高；
5. 固体、粉末、液体样品等都可以进行分析，检测范围从ppm - 100%。|1. 标样与待测需匹配，获取较难；
2. 对轻元素的灵敏度较低；
3. 基体效应、矿物相效应、粒度效应等都会对检测产生影响；
4. 是表面成分分析，故样品必须满足表面平整，成分均匀才能获得好的结果。|

|ICP - OES|1. 可以同时快速地进行多元素分析；
2. 灵敏度较高，每毫升亚微克级；
3. 基体效应低，较易建立分析方法；
4. 标准曲线具有较宽的线性动态范围；
5. 可无任何谱线缺失的全谱直读；
6. 可同时分析常量（低浓度）和痕量组分；
7. 具有良好的精密度和重复性。|1. 样品为液态，是破坏性检测；
2. 样品需经由强酸高温长时间或者高压等消化步骤，变成液体样品；
3. 需处理在前处理中产生的废水废气，以及检测过程中产生的废气；
4. 由于前处理使用强酸高温处理，因此，对应安全防护措施要求高。|

应用侧重

- XRF：优势在于常量元素检测，是检测物质中各种氧化物和元素的含量以及成分分析。

- ICP - OES：在痕量元素检测方面更优，一般应用于溶液中化合物离子的含量分析。

样品前处理

- XRF：样品前处理简单。

- ICP - OES：需要通过湿法将样品制备成液体。

标样情况

- XRF：标样匹配要求严格，但采用标样制作标准曲线成功后可长期使用。

- ICP - OES：标样获取较简单，但在测试前需要对所测元素建立标准曲线。

以上内容仅供参考